스마트계측기

유도결합 플라즈마란?

유도결합 플라즈마는 Inductively Coupled Plasma(ICP)

유도결합 플라즈마는 Inductively Coupled Plasma(ICP)라 하여 5,000~10,000K의 플라즈마를 얻을 수 있으며, 플라즈마 중에 도입된 측정대상 원소는 원자화되고 원자들은 전자를 이온화한다.

이 이온화 원자는 들뜨면서 그 원소에 특유의 빛(다수 파장으로 구성되는 스펙트럼)을 발생시킨다.

또 각 원소의 이온화 원자는 그 질량과 전하의 비(m/z)가 다르므로 이를 전계자계에 의해 분리할 수 있다.

이들 현상을 이용하면 극미량의 원소 측정이 가능해진다.

목적원소가 발광하는 특정 파장을 분광해 그 광량에서 원소를 정량하는 방법이 ICP-발광분석(Atomic Emission Spectrometry: ICP-AES)이다.

또 다른 m/z를 분리하여 그 이온량을 측정하여 목적원소를 정량하는 방법을 ICP-질량분석(Mass Spectrometry: ICP-MS)이라고 한다.

 ICP-AES/MSS가 실용·보급되기 시작해 수십 년이 경과하고, 분석장치의 과제 개선·컴팩트화·조작성이 향상되어 장치 가격도 저렴해져, 현재는 금속원소의 가장 범용적 수법 중 하나로서 폭넓게 이용되게 되었다.

 대표적인 응용분야는 금속재료, 반도체 파인 세라믹스, 고순도시약, 음료식품, 수돗물·환경수·저질·토양, 폐수·폐기물 등에 포함된 미량원소의 정량이다.

 ICP-AES/MSS의 이용에 있어서는 다량의 공존성분(매트릭스: 고체·액체·기체를 구성하는 주성분) 중에서 미량에 포함되는 특정성분을 정량하게 되므로 여러 가지 과제도 발생하여 측정시료의 채취방법이나 전처리 기술이 중요해진다.

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