ICP란 무엇인가?
고주파 유도결합 플라즈마(ICP)란 기체에 고전압을 인가해 원자를 전리하고 나아가 고주파수의 변동자기장에 의해 그 플라즈마 내부에 와전류에 의한 줄열을 발생시켜 얻어지는 플라즈마이다.
이 플라즈마의 전자밀도는 약 10^17개/m^3, 온도는 5~10×10^3K이며, 온도는 태양 표면의 플라즈마에 가깝다.
우주창세기처럼 중성원자가 원자핵, 전자, 광자 등에 완전히 전리된 것이 아니라 중성원자에서 1개 또는 몇 개의 전자가 해리되어 있는 플라즈마이다.
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